格罗方德成都项目加快建设 打造世界级智能工厂
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成都,4月11日(刘彦君秦韩)4月11日,记者从成都高新区获悉,位于成都高新区西部园区的格罗方德晶圆厂已完成100%的土石方工程和50%以上的桩基工程,将于明年3月前完工。
成都建工集团项目负责人、fab11建设方袁明表示,fab11项目将在12个月内完成,与传统电子厂房相比,设计和施工周期缩短了6个月。“在施工高峰期,估计会有六七千人同时在现场工作”。
描述:格罗方德fab11项目施工现场。照片由成都高新区提供。据报道,这家晶圆厂代号为“fab11”,是格罗方德在世界上的第11家晶圆厂,也是中国西南地区第一条12英寸晶圆生产线。建成后,它将成为世界上最高标准的最大晶圆代工厂之一。在项目的第一阶段,主流cmos工艺12英寸晶圆生产线将建成,最新的22fdx?采用22nmfd-soi工艺的12英寸晶圆生产线每月将生产85,000片晶圆。
“我们不仅要为格罗方德生产线建立一个空生产室,还要建立一个完整的生产系统。就像一个人,除了躯干,还必须有血管、神经系统等。”成都建工集团项目管理经理王霞表示,“fab11”成都工厂有大量常规工厂没有涉及的工艺技术和标准考虑,包括离子注入、光刻胶、封装和处理器等17个工艺环节。
与常规厂房项目相比,本项目最大的困难在于复杂的生产系统。该项目采用世界一流的自动化技术,建立了自动化物料运输系统、工厂事务管理系统、数据分析系统等。建设智能电子厂房,实现全自动化晶圆制造。
晶圆生产必须在清洁的环境中进行。据王霞介绍,脑外科和心脏外科的手术室可以达到100级,而晶圆车间必须保证65,000平方米的空室的洁净度为100,而当地的房间达到一级标准,即每立方英尺空空气相当于1/110。
据了解,格罗方德是世界上第二大晶圆代工厂。今年2月,格罗方德在成都的12英寸晶圆制造基地落户成都高新区。据成都高新区相关负责人介绍,格罗方德成都项目符合国家促进集成电路产业发展纲要,填补了西南地区12英寸先进工艺晶圆生产项目的空空白。成都高新区将全力推进“fab11”建设,帮助成都打造世界知名的集成电路产业基地。(结束)
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